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刘梅
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供职机构:
中国电子科技集团公司第五十五研究所
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自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
朱健
中国电子科技集团公司第五十五研...
吴璟
中国电子科技集团公司第五十五研...
石归雄
中国电子科技集团公司第五十五研...
贾世星
中国电子科技集团公司第五十五研...
卓敏
中国电子科技集团公司第五十五研...
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朱健
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS 硅基 微机电系统 MEMS开关 键合
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所获资助
研究领域
贾世星
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS RF_MEMS开关 圆片级 圆片级封装 干法刻蚀
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
卓敏
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:干法刻蚀 光敏性 键合工艺 晶化 梁结构
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
石归雄
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:圆片 旋涂 盐酸清洗 甩干机 氮化镓
发表作品
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供职机构
所获资助
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吴璟
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:键合 圆片级 三明治 光刻胶 斜坡
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梅迪
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS 复合开关 硅片键合 键合工艺 耐冲击
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郁元卫
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:键合工艺 滤波器 微机械 键合 刻蚀
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