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7 条 记 录,以下是 1-7
朱健
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS 硅基 微机电系统 MEMS开关 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贾世星
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS RF_MEMS开关 圆片级 圆片级封装 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卓敏
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:干法刻蚀 光敏性 键合工艺 晶化 梁结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
石归雄
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:圆片 旋涂 盐酸清洗 甩干机 氮化镓
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴璟
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:键合 圆片级 三明治 光刻胶 斜坡
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梅迪
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:MEMS 复合开关 硅片键合 键合工艺 耐冲击
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郁元卫
供职机构:中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题:键合工艺 滤波器 微机械 键合 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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