2024年11月27日
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于明岩
作品数:
13
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H指数:3
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哈尔滨理工大学
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发文基金:
国家自然科学基金
哈尔滨市科技创新人才研究专项资金
黑龙江省教育厅科学技术研究项目
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合作作者
施云波
哈尔滨理工大学测控技术与通信工...
徐昕伟
中国科学院微电子研究所
郭晓龙
中国科学院微电子研究所
景玉鹏
中国科学院微电子研究所
赵文杰
哈尔滨理工大学测控技术与通信工...
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施云波
供职机构:哈尔滨理工大学
研究主题:传感器 气体传感器 SUB 气体传感器阵列 有机半导体
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徐昕伟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:微波 干燥装置 硅片 微细结构 倒伏
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景玉鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅片 气敏传感器 光刻胶 刻蚀 临界态
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郭晓龙
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:真空设备 微波 干燥装置 硅片 微细结构
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赵文杰
供职机构:哈尔滨理工大学
研究主题:传感器 气体传感器 陶瓷材料 加热器 风速传感器
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陈宝钦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
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刘丛宁
供职机构:哈尔滨理工大学
研究主题:氯气 集成度 MSP430 安全监测 无线传感器网络
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沙春哲
供职机构:哈尔滨理工大学
研究主题:气体传感器 SD卡 智能检测系统 智能检测 ARM
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周真
供职机构:哈尔滨理工大学
研究主题:可靠性 传感器 电磁流量计 安全工程 干扰噪声
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饶志鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 原子层沉积 化学吸附 含碳 含氮
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