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徐昕伟

作品数：5 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇倒伏
  • 3篇微波
  • 3篇微细结构
  • 3篇硅片
  • 3篇干燥装置
  • 2篇超临界
  • 1篇电场
  • 1篇电磁
  • 1篇电磁波
  • 1篇电子束光刻
  • 1篇照射
  • 1篇紫外
  • 1篇紫外辐射
  • 1篇紫外线
  • 1篇紫外线照射
  • 1篇黏连
  • 1篇微波加热
  • 1篇交变电场
  • 1篇光刻
  • 1篇硅片清洗

机构

  • 5篇中国科学院微...
  • 1篇哈尔滨理工大...

作者

  • 5篇景玉鹏
  • 5篇于明岩
  • 5篇郭晓龙
  • 5篇徐昕伟
  • 1篇陈宝钦
  • 1篇施云波

传媒

  • 1篇光学精密工程

年份

  • 2篇2015
  • 1篇2014
  • 2篇2013
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
应用微波技术抑制光刻胶图形的坍塌与黏连被引量：3
2015年
针对显影工艺中水的表面张力导致的高高宽比抗蚀剂图形的坍塌及黏连,提出了一种基于微波加热的干燥技术来有效改善纳米抗蚀剂图形的干燥效果。该方法利用微波穿透光刻胶结构直接加热光刻胶图形间隙中残存的去离子水,水分子吸收微波的光子能量迅速蒸发,从而有效地抑制光刻胶图形的坍塌与黏连现象。利用提出的基于微波加热的干燥方法,成功获取了高260nm、宽16nm的光刻胶线条组和直径为20nm的光刻胶柱形阵列,其中高高宽比线条组和由15 625根柱子组成的柱形阵列结构没有出现坍塌及黏连情况,验证了在微波产生的交变电场作用下,可以减小水分子团簇,降低水的表面张力。
于明岩施云波赵士瑞郭晓龙徐昕伟景玉鹏陈宝钦
关键词：电子束光刻黏连高宽比微波加热
一种微波激发的超临界干燥装置及方法
本发明公开了一种微波激发的超临界干燥装置及方法，该超临界干燥装置包括：腔室(3)；设置于腔室(3)内盛载待测硅片(5)的石英装置(4)；设置于腔室(3)外且与石英装置(4)连通的真空抽水装置(1)；设置于腔室(3)内侧壁...
于明岩景玉鹏郭晓龙赵士瑞徐昕伟
一种对纳米图形进行紫外清洗的装置及方法
本发明公开了一种对纳米图形进行紫外清洗的装置及方法，该装置包括：反应腔室(1)；设置于腔室内部顶端的紫外灯(2)；设置于腔室内部用来固定待清洗硅片(5)的托盘(4)；设置于托盘下方的加热管(3)；设置于腔室底部且连接于托...
赵士瑞景玉鹏于明岩郭晓龙徐昕伟
文献传递
一种半导体干燥装置及方法
本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种半导体干燥装置。所述干燥装置，包括：腔室；石英装置，设置于所述腔室内，用于盛载待测硅片；GHz电磁波发生装置，设置于所述腔室内，用于产生交变电场对所述待测硅片进行加热，并且使石英装置...
徐昕伟景玉鹏郭晓龙于明岩赵士瑞
文献传递
一种微波激发的超临界干燥装置及方法
本发明公开了一种微波激发的超临界干燥装置及方法，该超临界干燥装置包括：腔室(3)；设置于腔室(3)内盛载待测硅片(5)的石英装置(4)；设置于腔室(3)外且与石英装置(4)连通的真空抽水装置(1)；设置于腔室(3)内侧壁...
于明岩景玉鹏郭晓龙赵士瑞徐昕伟
文献传递
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