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高扬
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供职机构:
中国工程物理研究院电子工程研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
苏伟
中国工程物理研究院电子工程研究...
彭勃
中国工程物理研究院电子工程研究...
唐彬
中国工程物理研究院电子工程研究...
张照云
中国工程物理研究院电子工程研究...
陈颖慧
中国工程物理研究院电子工程研究...
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彭勃
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计
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张照云
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 极板 加速度计 刻蚀 结构层
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唐彬
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层
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所获资助
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苏伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 石英 键合 刻蚀 结构层
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陈颖慧
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:结构层 微加速度计 微电子机械系统 声表面波滤波器 尺寸控制
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熊壮
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 加速度计 极板 MEMS 惯性开关
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李东杰
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:引信 测试仪 电子引信 铁电存储器 插头
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赵翔
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:激光 激光驱动 飞片 激光测量 爆轰波
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苏伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微加速度计 微电子机械系统 微机电系统 加速度计 折叠波导
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