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董晓文

作品数：16 被引量：14H指数：2
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
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司卫华
供职机构：清华大学
研究主题：纳米压印 模版 紫外 热压印 反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
顾文琪
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束曝光机 聚焦离子束 液态金属离子源 电子束曝光 图形发生器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘泽文
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 微机械 射频 纳米孔 共面波导
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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