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陶晓明
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中国科学技术大学
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洪义麟
中国科学技术大学核科学技术学院...
付绍军
中国科学技术大学核科学技术学院...
霍同林
中国科学技术大学核科学技术学院...
傅绍军
中国科学技术大学核科学技术学院...
徐向东
中国科学技术大学核科学技术学院...
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洪义麟
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:离子束刻蚀 光栅 全息光刻 衍射光栅 软X射线
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付绍军
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光栅 离子束刻蚀 软X射线 衍射效率 刻蚀
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霍同林
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题:多层膜 真空紫外 软X射线 磁控溅射 光束线
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傅绍军
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题:离子束刻蚀 软X射线 全息光刻 衍射光栅 光刻胶
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徐向东
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:离子束刻蚀 光栅 软X射线 衍射光栅 全息光刻
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周洪军
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:多层膜 真空紫外 光束线 磁控溅射 软X射线
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阚娅
供职机构:中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室
研究主题:光刻掩模 光刻 光刻胶 LIGA 牺牲层
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胡一贯
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光刻 光刻掩模 LIGA技术 微细加工 LIGA
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张新夷
供职机构:复旦大学物理教学实验中心
研究主题:GAAS 砷化镓 软X射线 XAFS 光电子能谱
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田扬超
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光刻胶 LIGA 光刻 X射线 LIGA技术
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