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胡小邦
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中国科学院上海光学精密机械研究所
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合作作者
黄惠杰
中国科学院大学
杨宝喜
中国科学院大学
李璟
中国科学院上海光学精密机械研究...
陈明
中国科学院上海光学精密机械研究...
张方
中国科学院上海光学精密机械研究...
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
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杨宝喜
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
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李璟
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:衍射光学元件 光刻机 镜面 波带片 光源
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陈明
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 紫外光刻 照明系统 测量方法
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张方
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光学系统
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朱菁
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
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黄立华
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:免疫层析 上转换发光 光刻机 试纸条 金标
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师中华
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:镜面 光源 光纤 调整架 测量方法
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肖艳芬
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 离轴照明 微透镜阵列 分子激光器
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张友宝
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:检漏装置 生物检测 安全数码卡 光纤 信号处理系统
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