张方
- 作品数：57 被引量：59H指数：6
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：上海市科技人才计划项目上海市国际科技合作基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 光刻机设备用离轴照明装置
- 一种光刻机设备用离轴照明装置，其特点在于该装置包括照明单元、衍射光学元件单元、变焦准直镜组、四分之一波片、负轴锥镜、45°旋光片和正轴锥镜；所述的照明单元由准分子激光器和扩束准直镜组组成。本发明对光刻机可实现双环照明，双...
- 杨宝喜宋强朱菁陈明胡中华肖艳芬刘蕾王俊张方黄惠杰
- 光刻机照明光场均匀性高精度校正方法研究被引量：7
- 2018年
- 提出了应用于光刻机照明系统照明光场均匀性的高精度校正方法,该方法通过优化手指阵列式均匀性校正器中校正手指前端的形状及其排布方式来提高校正能力和精度。仿真结果表明:当校正手指错开排布时,手指阵列式均匀性校正器的校正精度优于0.2%;当校正手指的前端有倒斜角且双层错开排布时,手指阵列式均匀性校正器的校正精度优于0.16%,比常规手指阵列式均匀性校正器的校正精度提高约一倍。
- 程伟林张方张方林栋梁杨宝喜曾爱军
- 关键词：光刻机照明系统
- 用于准分子激光光束整形的衍射光学元件设计方法
- 一种用于准分子激光光束整形的衍射光学元件设计方法，该方法包括下列步骤：测量入射到衍射光学元件的光束的空间相干长度L；计算衍射光学元件中位相单元的尺寸l；依据入射到衍射光学元件的光束的空间相干长度L，确定衍射光学元件中一个...
- 朱菁王健黄惠杰张方杨宝喜陈明李璟魏张帆
- 文献传递
- 荧光定量基因快速扩增检测装置和扩增检测方法
- 一种荧光定量基因快速扩增检测装置和扩增检测的方法，检测装置包括PCR试管、温度控制模块，其特点在于还有导热硅胶、荧光检测模块、第一传送机构、第一驱动机构、连接机构、第二传送机构和第二驱动机构。本发明不仅解决了在先技术存在...
- 陈正伟黄惠杰张方
- 文献传递
- 光刻机用微透镜阵列的检测装置和检测方法
- 一种光刻机用微透镜阵列的检测装置和检测方法，检测装置的过程包括准分子激光器，沿该准分子激光器的输出光束方向依次是同轴的扩束镜、能量衰减片、光阑、聚光镜和图像传感器，所述的微透镜阵列置于二维电动平台上，所述的微透镜阵列的后...
- 肖艳芬朱菁杨宝喜胡小邦张方黄惠杰李璟陈明
- 文献传递
- 刀口半影最小化的光刻机扫描狭缝研究被引量：2
- 2018年
- 扫描狭缝是步进扫描光刻机中控制曝光剂量的重要单元,而扫描狭缝产生过大的刀口半影会影响曝光性能。首先,根据步进扫描光刻机照明原理,通过分析掩模面上光强分布与扫描狭缝刀口厚度及位置的相对关系,推导出掩模面上刀口半影宽度的计算公式,同时针对数值孔径NA为0.75的光刻机照明系统模型分别对非共面和共面扫描狭缝在掩模面上的刀口半影进行仿真分析;研制了一种四刀口共面的高精度扫描狭缝装置,不仅满足步进扫描光刻机的同步性能需求,并且有效减小了X向和Y向的刀口半影;最后对所研制的扫描狭缝动态性能以及掩模面上实际刀口半影进行了测试。结果表明,当最大扫描速度达到470mm/s时,扫描刀口动态跟随误差始终在±30μm以内,同时两个方向的刀口半影均不超过0.5mm,满足90nm分辨率步进扫描光刻机的需求。
- 林栋梁张方张方
- 关键词：光学光刻
- 介质腔增强型高反射波片及其制备方法
- 一种介质腔增强型高反射波片及其制备方法，该波片包括介质基底，在介质基底上自下而上依次是金属反射层、介质光栅共振腔层和金属光栅层，所述的金属反射层是连续的，厚度H1为50～100nm；所述的介质光栅共振腔层和金属光栅层是不...
- 胡敬佩朱玲琳张方曾爱军黄惠杰
- 文献传递
- 一种自由光瞳照明模块失效微反射镜判断方法
- 本发明提供一种自由光瞳照明模块失效微反射镜判断方法，包括自由光瞳照明模块总控装置、微反射镜角位置监测组件、测试方案以及判断算法。自由光瞳照明模块通过给微反射镜控制轴设置电压来改变微反射镜的角度，角位置监测组件用于测量微反...
- 黄振鑫张方杨增辉曾爱军黄惠杰
- 一种超表面圆偏振光检测元件及其制备方法
- 一种超表面圆偏振光检测元件，由透光基底和设置在该透光基底上的阵列的旋转对称手性介质结构单元构成，所述旋转对称手性介质结构由两对介质臂交叉构成，所述的旋转对称手性介质结构彼此之间有空隙。该元件可通过电子束曝光和显影技术以及...
- 胡敬佩朱玲琳张方曾爱军黄惠杰
- 文献传递
- 一种基于双阈值算法的光学系统初始结构生成方法
- 一种基于双阈值算法的光学系统初始结构生成方法，其工作步骤依次为：1)根据用户需求得到光学系统设计要求。2)通过光学系统设计要求基于双阈值算法得到光学系统一阶结构。3)通过得到的光学系统一阶结构优化出相应的薄透镜结构。4)...
- 曾宗顺张方朱思羽马晓喆黄惠杰
- 文献传递
