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石长友
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阎佐健
中国科学院
潘福全
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曾志群
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李求恕
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冯彬
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潘福全
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研究主题:涡轮分子泵 抽气装置 机械泵 离子枪 线列
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阎佐健
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曾志群
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研究主题:涡轮分子泵 抽气装置 机械泵 离子枪 线列
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李求恕
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研究主题:涡轮分子泵 抽气装置 超高真空 高精密 夹持
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戚晖
供职机构:中国科学院
研究主题:磁控溅射 磁控 控制程序 镀膜设备 法兰
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