2024年11月23日
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汪海
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24
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供职机构:
北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室
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发文基金:
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合作作者
刘克
北京理工大学光电学院光电成像技...
李艳秋
北京理工大学光电学院光电成像技...
刘丽辉
北京理工大学
王建峰
北京理工大学
陈晨
北京理工大学光电学院光电成像技...
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李艳秋
供职机构:北京理工大学
研究主题:掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
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刘克
供职机构:北京理工大学
研究主题:波像差 光刻机 投影物镜 光栅 位相
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刘丽辉
供职机构:北京理工大学
研究主题:光刻物镜 光刻机 波像差 投影物镜 平面反射镜
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王建峰
供职机构:北京理工大学
研究主题:微透镜阵列 准直系统 大口径 大动态范围 波像差
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陈晨
供职机构:北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室
研究主题:干涉图 光栅 莫尔条纹
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王丹
供职机构:北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室
研究主题:光学测量
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