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刘克

作品数：91 被引量：73H指数：7
供职机构：北京理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项教育部长江学者奖励计划更多>>
相关领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 74篇专利
  • 16篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 22篇机械工程
  • 18篇理学
  • 13篇电子电信
  • 11篇自动化与计算...
  • 2篇文化科学
  • 1篇医药卫生

主题

  • 33篇光刻
  • 30篇光学
  • 22篇波像差
  • 21篇物镜
  • 21篇光刻机
  • 18篇投影物镜
  • 18篇位相
  • 18篇光栅
  • 17篇衍射
  • 15篇像差
  • 14篇在线检测
  • 11篇掩模
  • 10篇在线检测装置
  • 9篇光学系统
  • 8篇球面波
  • 8篇抗噪
  • 8篇剪切干涉
  • 8篇光波
  • 8篇光电
  • 8篇光学测量

机构

  • 88篇北京理工大学
  • 5篇中国科学院
  • 2篇中国科学院研...

作者

  • 91篇刘克
  • 90篇李艳秋
  • 24篇汪海
  • 20篇刘丽辉
  • 6篇王建峰
  • 5篇刘晓林
  • 4篇陈晨
  • 4篇刘景峰
  • 3篇何飞
  • 2篇刘昊
  • 2篇戴学兵
  • 2篇董立松
  • 1篇陈国强
  • 1篇王涛
  • 1篇陈晨
  • 1篇曹振
  • 1篇杨亮
  • 1篇刘岩
  • 1篇张恨
  • 1篇郑猛

传媒

  • 5篇光学技术
  • 4篇光学学报
  • 2篇激光与光电子...
  • 2篇中国激光
  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇仪器仪表学报
  • 1篇光电工程

年份

  • 9篇2024
  • 4篇2023
  • 7篇2022
  • 5篇2021
  • 1篇2019
  • 3篇2018
  • 7篇2017
  • 1篇2016
  • 7篇2015
  • 3篇2014
  • 10篇2013
  • 6篇2012
  • 10篇2011
  • 10篇2010
  • 2篇2009
  • 3篇2008
  • 2篇2007
  • 1篇1999
共 91 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于四向虚光栅的二维干涉图相位提取方法
本发明提供一种基于四向虚光栅二维干涉图的相位提取方法，具体步骤为：步骤101、设定两个参考频率，基于所述参考频率生成四种含一定相移量的多幅参考干涉图，将所述参考干涉图称为虚光栅；步骤102、将待处理干涉图与每一虚光栅相乘...
刘克陈晨李艳秋
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一种系统误差自校准的光刻机投影物镜波像差在线检测装置
本发明提供一种系统误差自校准的投影物镜波像差在线检测装置，能够实现对光刻机投影物镜波相差的高精度检测。采用设有方形针孔阵列的物方掩模板，通过方形针孔阵列产生理想的球面波，消除了照明系统对光刻机投影物镜波像差检测的影响，从...
李艳秋汪海刘克
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一种光刻机投影物镜波像差的现场测量装置
本发明涉及一种光刻机投影物镜波像差的现场测量装置。该装置基于Shack－Hartmann测量原理，包括主机和标准镜两大组成部分。主机部分包括光电传感器、衍射光学元件、准直物镜、带有圆孔的针孔掩模板，以及用于控制光路传输的...
刘克李艳秋刘丽辉汪海
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基于全局随机编码规则的位相衍射光栅
本发明公开了基于全局随机编码规则的位相衍射光栅，通过采用两种透射率像元，在衍射光栅进行全局随机分布，并保证各个周期的同一像元位置的平均透射率等于理想正弦衍射光栅在对应位置的透射率；该衍射光栅不需要借助级选择板便能达到完全...
刘克王健年李艳秋
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基于横向剪切干涉的扩束准直系统波面像差检测方法
本发明提供一种基于横向剪切干涉的扩束准直系统波面像差检测方法，具体步骤为：步骤一、在扩束准直系统出射光束的光路上依次设置一维位相光栅和光电探测单元；步骤二、采集对应0、π/2、π、3π/2相移的x方向剪切干涉图<Imag...
李艳秋汪海刘克
一种利用补偿面的光学系统像差补偿方法
本发明提供一种利用补偿面的光学系统像差补偿方法，具体步骤为：步骤一、在光学设计阶段，预设至少一个补偿面；步骤二、在系统加工阶段，对步骤一所设计的光学系统进行加工，其中补偿面不进行精细抛光；步骤三、仿真分析出光学系统的波像...
李艳秋刘晓林刘克
可标定系统误差的光刻机投影物镜波像差在线检测装置
本发明公开了一种可标定系统误差的光刻机投影物镜波像差在线检测装置，属于光学检测领域。本装置包括开有圆孔的物方掩模板、移相装置、光电传感器、存储器、控制器、运算器、分束装置和像方掩模板。所述分束装置包括两个二元衍射光栅：第...
刘克李艳秋刘丽辉
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高阶截断误差的多方向斜率和曲率混合波前重构方法
本发明公开了高阶截断误差的多方向斜率和曲率混合波前重构方法，本发明方法在区域法模型的每个网格点加入额外方向的斜率和曲率测量值，除了常规的垂直和水平方向，考虑其他任意方向的波前值、斜率值和混合曲率值三者关系构造积分方程，利...
刘克钟慧李艳秋秦鹏何飞
极紫外光刻投影曝光光学系统
本发明提供一种极紫外光刻投影曝光光学系统，包含照明模块和成像模块两部分，其中成像模块的设计使用了基于真实光线追迹的分组移动双向构造法，分组设计可以将复杂的系统分解为多个简单的子系统分别进行设计，即将整体系统众多未知参数分...
李艳秋闫旭刘丽辉刘克
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基于四光束干涉的波面位相测量方法
本发明提供一种基于四光束干涉的波面位相测量方法，具体过程为：在待测光波波前所在的平面上设置分波面元件，所述分波面元件上的每个子孔径内设有四个通光圆孔A、B、C和D，其中通光圆孔A的圆心位于子孔径的中心上，通光圆孔B、C和...
刘克李艳秋
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