2024年11月26日
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姚鹏
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西安交通大学机械工程学院精密工程与光学测试技术研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
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合作作者
蒋庄德
西安交通大学机械工程学院精密工...
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西安交通大学机械工程学院精密工...
赵玉龙
西安交通大学机械工程学院精密工...
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蒋庄德
供职机构:西安交通大学
研究主题:传感器芯片 电极 传感器 芯片 压阻
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卢德江
供职机构:西安交通大学
研究主题:电极 传感器芯片 谐振梁 品质因子 压电
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赵玉龙
供职机构:西安交通大学
研究主题:传感器芯片 MEMS 传感器 硅 芯片
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