您的位置： 专家智库 > >

刘珠明

作品数：25 被引量：12H指数：2
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
发文基金：中国科学院知识创新工程重要方向项目国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术农业科学理学更多>>

合作作者

领域

  • 28个电子电信
  • 24个自动化与计算...
  • 19个理学
  • 18个一般工业技术
  • 16个机械工程
  • 14个电气工程
  • 11个金属学及工艺
  • 10个经济管理
  • 10个文化科学
  • 9个医药卫生
  • 8个化学工程
  • 7个轻工技术与工...
  • 6个交通运输工程
  • 5个动力工程及工...
  • 4个生物学
  • 4个天文地球
  • 4个矿业工程
  • 4个建筑科学
  • 4个核科学技术
  • 3个环境科学与工...

主题

  • 25个光学
  • 23个电子束曝光
  • 21个纳米
  • 21个光刻
  • 21个光刻技术
  • 19个电子束曝光系...
  • 19个微细
  • 19个微细加工
  • 17个电子束
  • 17个电子束直写
  • 17个分辨率
  • 16个电路
  • 16个电子束光刻
  • 16个信号
  • 15个掩模
  • 14个英文
  • 12个电极
  • 12个电子束曝光机
  • 11个电池
  • 11个电压

机构

  • 17个中国科学院
  • 16个中国科学院微...
  • 9个中国科学院大...
  • 6个中国科学院研...
  • 6个中国科学院微...
  • 3个北京大学
  • 2个北方工业大学
  • 2个南京大学
  • 2个北京理工大学
  • 2个清华大学
  • 1个北京邮电大学
  • 1个北京师范大学
  • 1个北京科技大学
  • 1个兰州大学
  • 1个南京航空航天...
  • 1个北京航空航天...
  • 1个河北大学
  • 1个西安理工大学
  • 1个河北工业大学
  • 1个湛江师范学院

资助

  • 26个国家自然科学...
  • 23个国家重点基础...
  • 14个国家高技术研...
  • 11个国家科技重大...
  • 7个国家重大科学...
  • 6个北京市自然科...
  • 6个国家科技支撑...
  • 6个中国科学院知...
  • 4个中国博士后科...
  • 4个全球变化研究...
  • 4个中央高校基本...
  • 3个北京市科技计...
  • 3个“九五”国家...
  • 3个公益性行业(...
  • 3个国家攀登计划
  • 3个中国科学院战...
  • 3个中国科学院知...
  • 2个江苏省自然科...
  • 2个北京市科委科...
  • 2个国家重点实验...

传媒

  • 19个微细加工技术
  • 18个第十三届全国...
  • 16个Journa...
  • 15个第十四届全国...
  • 12个微纳电子技术
  • 12个第十二届全国...
  • 11个半导体技术
  • 11个微电子学
  • 11个纳米技术与精...
  • 10个电子工业专用...
  • 10个电子器件
  • 10个压电与声光
  • 9个物理学报
  • 8个现代科学仪器
  • 7个光学精密工程
  • 7个光学学报
  • 7个光电工程
  • 7个第十一届全国...
  • 6个第二届全国纳...
  • 5个物理

地区

  • 24个北京市
  • 1个四川省
  • 1个广东省
共 30 条 记 录，以下是 1-10
郑利兵
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：热反射 IGBT模块 IGBT 拉伸机 拉钩
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩立
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束 原子力显微镜 扫描探针显微镜 电流变液 电子束曝光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
顾文琪
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束曝光机 聚焦离子束 液态金属离子源 电子束曝光 图形发生器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
殷伯华
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：电子束 原子力显微镜 扫描电子显微镜 电子枪 AFM
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王治平
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：测试装置 倍压整流 辐射谱 分析装置 反馈控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
霍荣岭
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：盲文 打印装置 透射 车轮 压电振子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张超
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：无线电能传输 谐振式 电能传输系统 谐振 超材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李金儒
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：数据格式转换 CIF格式 电子束直写 微光刻技术 CIF
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王德强
供职机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题：X射线光刻 波带片 X射线 电子束 电子束直写
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李艳秋
供职机构：北京理工大学
研究主题：掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共3页<123>
聚类工具0