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何伟

作品数：3 被引量：6H指数：2
供职机构：同济大学更多>>
发文基金：国家攀登计划更多>>
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合作作者

领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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地区

  • 6个上海市
共 6 条 记 录，以下是 1-6
沈蓓军
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：微机械 光刻 微细加工 LIGA 准分子激光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
路敦武
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻 光学 敏感区 散射光 信噪比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王德林
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：V棱镜折射仪 光电倍增管 角度编码器 折射率测量 高功率激光系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨良民
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：微机械 接近式光刻 光刻分辨率 分辨率 准分子激光光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘增水
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光强分布 ICF 性能分析 机械加工工艺 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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