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黄妍妍
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河北工业大学
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
高宝红
河北工业大学信息工程学院微电子...
檀柏梅
河北工业大学信息工程学院微电子...
张建新
河北工业大学信息工程学院微电子...
刘楠
河北工业大学信息工程学院微电子...
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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高宝红
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 铜布线 阻挡层
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檀柏梅
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
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张建新
供职机构:天津工业大学
研究主题:等离子喷涂 反应等离子喷涂 复合粉 涂层 TIO
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田巧伟
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:铜布线 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 纳米SIO
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刘楠
供职机构:河北工业大学
研究主题:地下水 铜布线 CMP 化学机械抛光 环境容量
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王胜利
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 螯合剂 去除速率
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周建伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 硅溶胶 抛光液 硅晶片
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康军广
供职机构:河北工业大学机械工程学院
研究主题:圆锯片 均布 动态拓扑 元胞自动机 刀头
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王娟
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 硅溶胶 抛光液 超大规模集成电路
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