2024年11月27日
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赵莹
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复旦大学
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合作作者
屈新萍
复旦大学
谢琦
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蒋玉龙
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黄巍
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屈新萍
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 固相反应 扩散阻挡层 NISI 纳米压印技术
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谢琦
供职机构:复旦大学
研究主题:扩散阻挡层 铜互连 铜 微电子 集成电路
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王保民
供职机构:复旦大学
研究主题:NISI 金属栅 全硅 衬底 CMOS器件
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李炳宗
供职机构:复旦大学
研究主题:固相反应 硅化物 自对准 NISI 微电子
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周觅
供职机构:复旦大学
研究主题:超薄 扩散阻挡层 原子层淀积 CU互连 CU
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蒋玉龙
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 金属栅 势垒 NISI 肖特基接触
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茹国平
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:固相反应 微电子 NISI SI 金属栅
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黄巍
供职机构:复旦大学
研究主题:法律翻译 TAN TA NISI 覆盖层技术
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