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董健
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中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
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王跃林
中国科学院上海冶金研究所上海微...
李昕欣
中国科学院上海冶金研究所上海微...
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:传感器 硅 反应离子刻蚀 过载保护 量程
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
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