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莫科伟
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无锡微电子科研中心
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合作作者
刘丽艳
无锡微电子科研中心
周彬
无锡微电子科研中心
吴洪强
无锡微电子科研中心
韩隽
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肖军
无锡微电子科研中心
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周彬
供职机构:无锡微电子科研中心
研究主题:CMOS PBL 干法 叠层 湿法
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吴洪强
供职机构:无锡微电子科研中心
研究主题:CMOS PBL 干法 叠层 湿法
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刘丽艳
供职机构:无锡微电子科研中心
研究主题:CMOS PBL 干法 叠层 湿法
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彭力
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研究主题:FLASH_MEMORY ENHANCING TUNNELING SI 半导体工艺
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肖军
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韩隽
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研究主题:MEMORY FLASH_MEMORY FLASH
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陈志勇
供职机构:无锡微电子科研中心
研究主题:PBL 半导体工艺 集成电路 刻蚀工艺 多晶硅
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