您的位置： 专家智库 > >

刘丽艳

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：无锡微电子科研中心更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇叠层
  • 1篇湿法
  • 1篇干法
  • 1篇PBL
  • 1篇CMOS
  • 1篇PITTIN...

机构

  • 2篇无锡微电子科...

作者

  • 2篇莫科伟
  • 2篇吴洪强
  • 2篇周彬
  • 2篇刘丽艳

传媒

  • 2篇电子与封装

年份

  • 2篇2002
共 2 条 记 录，以下是 1-2
全选 清除 导出
排序方式：
0.5μm CMOS腐蚀工艺研究
2002年
本文主要介绍了0.5 μm CMOS 工艺中一些腐蚀模块的工艺。
莫科伟刘丽艳周彬吴洪强
关键词：CMOS
关于PBL叠层腐蚀后PITTING的研究
2002年
本文主要研究了 polysilicon Buffered Locos(PBL)叠层腐蚀后 PITING 的问题。
莫科伟刘丽艳吴洪强周彬
关键词：PBLPITTING干法湿法
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0