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刘丽艳
作品数:
2
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供职机构:
无锡微电子科研中心
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相关领域:
电子电信
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合作作者
周彬
无锡微电子科研中心
吴洪强
无锡微电子科研中心
莫科伟
无锡微电子科研中心
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作者
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莫科伟
2篇
吴洪强
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周彬
2篇
刘丽艳
传媒
2篇
电子与封装
年份
2篇
2002
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0.5μm CMOS腐蚀工艺研究
2002年
本文主要介绍了0.5 μm CMOS 工艺中一些腐蚀模块的工艺。
莫科伟
刘丽艳
周彬
吴洪强
关键词:
CMOS
关于PBL叠层腐蚀后PITTING的研究
2002年
本文主要研究了 polysilicon Buffered Locos(PBL)叠层腐蚀后 PITING 的问题。
莫科伟
刘丽艳
吴洪强
周彬
关键词:
PBL
PITTING
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