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莫科伟

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：无锡微电子科研中心更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇电子电信
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电路
  • 1篇叠层
  • 1篇湿法
  • 1篇铝合金
  • 1篇金属
  • 1篇金属腐蚀
  • 1篇刻蚀
  • 1篇刻蚀工艺
  • 1篇集成电路
  • 1篇合金
  • 1篇干法
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体工艺
  • 1篇PBL
  • 1篇CMOS
  • 1篇FLASH_...
  • 1篇MEMORY
  • 1篇FLASH
  • 1篇PITTIN...

机构

  • 4篇无锡微电子科...

作者

  • 4篇莫科伟
  • 2篇吴洪强
  • 2篇周彬
  • 2篇刘丽艳
  • 1篇彭力
  • 1篇陈志勇
  • 1篇肖军
  • 1篇韩隽

传媒

  • 3篇电子与封装
  • 1篇中国电子学会...

年份

  • 4篇2002
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
金属铝合金侵蚀研究
本文研究了在半导体生产中出现的金属铝合金侵蚀现象,分析了金属侵蚀的机理,最后给出了金属侵蚀的防护方法.
陈志勇彭力莫科伟
关键词：金属腐蚀半导体工艺刻蚀工艺集成电路铝合金
文献传递
0.5μm CMOS腐蚀工艺研究
2002年
本文主要介绍了0.5 μm CMOS 工艺中一些腐蚀模块的工艺。
莫科伟刘丽艳周彬吴洪强
关键词：CMOS
Flash memory中的叠栅腐蚀工艺
2002年
本文主要介绍了 Intel 式 Flash memory 单元结构的叠栅自对准腐蚀工艺和有关的叠栅腐蚀原理,分析了 Flash 叠栅自对准腐蚀对 Flash 性能的重要性。
莫科伟肖军韩隽
关键词：FLASHMEMORY
关于PBL叠层腐蚀后PITTING的研究
2002年
本文主要研究了 polysilicon Buffered Locos(PBL)叠层腐蚀后 PITING 的问题。
莫科伟刘丽艳吴洪强周彬
关键词：PBLPITTING干法湿法
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共1页<1>
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