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宋玲

作品数：16 被引量：4H指数：1
供职机构：武汉大学更多>>
相关领域：经济管理自动化与计算机技术自然科学总论电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 8个电子电信
  • 2个电气工程
  • 1个冶金工程
  • 1个机械工程
  • 1个动力工程及工...
  • 1个文化科学

主题

  • 8个淀积
  • 8个气相淀积
  • 8个U
  • 6个等离子体
  • 6个刻蚀
  • 5个刻蚀机
  • 3个气相
  • 3个化学气相
  • 3个化学气相沉积
  • 2个电池
  • 2个太阳能
  • 2个太阳能电池
  • 2个气相沉积
  • 2个离子刻蚀
  • 2个反应离子
  • 2个反应离子刻蚀
  • 2个半导体
  • 1个带传动
  • 1个氮化
  • 1个氮化硅

机构

  • 8个信息产业部
  • 4个中国电子科技...
  • 3个电子工业部
  • 3个中国电子科技...
  • 1个中国电子科技...
  • 1个机电部

资助

  • 2个国家高技术研...

传媒

  • 4个电子工业专用...
  • 3个微细加工技术
  • 1个传感技术学报
  • 1个新材料产业
  • 1个2003中国...
  • 1个第十二届全国...

地区

  • 4个陕西省
  • 1个北京市
共 8 条 记 录，以下是 1-8
陈特超
供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题：离子束 溅射 刻蚀 太阳能电池生产线 扩散炉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
范迎新
供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题：U 等离子体 气相淀积 微组装 化学气相沉积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨基南
供职机构：中国电子科技集团公司
研究主题：U MOCVD设备 等离子体 气相淀积 太阳能电池产业
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李学文
供职机构：信息产业部
研究主题：气相淀积 U
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王萍
供职机构：信息产业部
研究主题：U 气相淀积 加入WTO 刻蚀机 等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
廖佐升
供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题：U 气相淀积 传动系统 ECR 烘干
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任伟
供职机构：信息产业部
研究主题：U 气相淀积 刻蚀机 等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
肖信
供职机构：信息产业部
研究主题：气相淀积 U
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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