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刘鹏
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175
被引量:17
H指数:2
供职机构:
北京大学
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发文基金:
国家教育部“985工程”
国家自然科学基金
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自动化与计算机技术
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合作作者
张大成
北京大学
王玮
北京大学
杨芳
北京大学
田大宇
北京大学
李婷
北京大学
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张大成
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 微电子机械系统 刻蚀 硅 键合
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供职机构
所获资助
研究领域
王玮
供职机构:西南交通大学
研究主题:单晶金刚石 金刚石 场效应晶体管 硅基 键合
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田大宇
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 探测器 硅 离子注入 成品率
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杨芳
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 微电子机械系统 MEMS器件 牺牲层 淀积
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李婷
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
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所获资助
研究领域
罗葵
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 成品率 微电子机械系统 淀积 湿法腐蚀
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何军
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS器件 刻蚀 成品率 芯片尺寸 结构层
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赵丹淇
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS器件 牺牲层 成品率 单片集成 刻蚀
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黄贤
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS器件 成品率 芯片尺寸 结构层 压阻式压力传感器
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研究领域
张立
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 长梁 压力计 变化检测 机械可靠性
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