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杨芳
作品数:
88
被引量:21
H指数:3
供职机构:
北京大学
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国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
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张大成
北京大学信息科学技术学院微电子...
王玮
北京大学
李婷
北京大学
田大宇
北京大学
刘鹏
北京大学
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杨芳
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张大成
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李婷
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王玮
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田大宇
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1篇
2000
1篇
1999
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一种MEMS集成化方法
本发明公开了一种MEMS集成化方法,在基片上先刻蚀出MEMS区域凹槽,在凹槽以外的区域制作CMOS电路,完成除金属互连以外的所有IC工艺;然后淀积IC保护层,在凹槽内采用MEMS表面牺牲层工艺制作MEMS结构;再刻蚀形成...
赵丹淇
张大成
杨芳
田大宇
刘鹏
王玮
李婷
罗葵
文献传递
高速PC主板设计中若干关键问题的研究与实践
本文基于高速PCB板EDA设计流程,结合Intel芯片组-Broadwater的台式计算机主板设计,分别在主板的布局、电源平面设计和高速信号布线方面进行了分析和优化设计。在布局方案方面,分析了关键器件的布局、关键信号的布...
杨芳
关键词:
个人电脑
主板设计
高速电路
文献传递
一种自封装的MEMS器件及红外传感器
本发明公开一种基于表面牺牲层工艺制作的自封装的MEMS器件以及及采用该器件结构的红外传感器。该MEMS器件包括基片、衬底保护层、下电极、下电极保护层、结构层、金属层以及封装层,所述结构层和所述金属层位于由所述封装层形成的...
赵丹淇
张大成
何军
黄贤
杨芳
田大宇
刘鹏
王玮
李婷
罗葵
文献传递
一种提取体硅工艺制造的微梁拉伸断裂强度的方法及系统
本发明公开了一种提取体硅工艺制造的微梁拉伸断裂强度的方法及系统,利用新设计的片上试验机结构和微电子工艺检测分析用探针台相结合的系统,提取微梁的拉伸断裂强度参数。此方法可用来进行刻蚀(腐蚀)工艺监测,也可用来预测器件的机械...
何军
张大成
张立
王玮
杨芳
田大宇
刘鹏
李婷
硅集成冲击片雷管的研制
介绍了一种利用硅MEMS工艺集成制造冲击片雷管的方法。首先在标准硅片上依次沉积二氧化硅、多晶硅(重掺杂)和铝,经过光刻刻蚀后形成桥单元,接下来采用阳极键合工艺在桥上粘接玻璃片,然后采用深反应离子刻蚀工艺在桥下方反向刻蚀单...
施志贵
杨芳
关键词:
多晶硅
飞片
阳极键合
深反应离子刻蚀
文献传递
硅的腐蚀深度实时监控方法
本发明公开了一种硅的腐蚀深度实时监控方法,属于微电子机械系统加工工艺技术领域。本发明方法在相同条件下对硅腐蚀片和用于监控硅腐蚀片的腐蚀深度的硅陪片同时进行腐蚀,所述硅陪片包括位于硅陪片表面的腐蚀凹槽,位于腐蚀凹槽底面的腐...
严远
张大成
王玮
杨芳
李婷
王颖
罗葵
田大宇
基于表面牺牲层工艺的MEMS器件自封装制备方法
本发明提供一种基于表面牺牲层工艺的MEMS器件自封装制备方法,其步骤包括:在基片上淀积并制作衬底保护层、下电极和下电极保护层,并化学机械抛光下电极保护层的表面;采用表面牺牲层工艺制作第一层牺牲层和MEMS器件的结构层;在...
赵丹淇
张大成
何军
黄贤
杨芳
田大宇
刘鹏
王玮
李婷
罗葵
文献传递
一种MEMS加工工艺的温度监控装置及温度监控方法
本发明提供一种MEMS加工工艺的温度监控装置,包括:两个热驱执行器,每个热驱执行器均包括两个固定锚点,该两个固定锚点通过热驱梁连接,该两个热驱执行器通过一放大杠杆连接;一活动锯齿开关,包括一锯齿扣和一锯齿锁,该锯齿扣连接...
张立
张大成
杨芳
王玮
李睿
关淘淘
范泽新
文献传递
一种热驱冲击试验机及一种在线检测系统和在线检测方法
本发明提供一种热驱冲击试验机,包括:一热驱加载机构,包括两个加载热驱执行器,通过一加载放大杠杆连接,该加载放大杠杆的中点处连接一加载锯齿扣,该加载锯齿扣含有多个一类锯齿;该中点处还通过一单梁连接一冲击质量块和一负载储能弹...
张立
张大成
杨芳
王玮
李睿
关淘淘
范泽新
文献传递
一种压阻式压力计芯片结构及其制备方法
本发明公开了一种压阻式压力计芯片结构及其制备方法,优选采用TSV和CMP工艺来实现。其中硅应变膜的厚度可以利用TSV工艺提前确定,在利用CMP工艺进行硅片减薄时可以自停止在TSV金属填充孔位置,可以大幅提高硅应变膜厚度的...
黄贤
杨芳
张大成
姜博岩
王玮
何军
田大宇
刘鹏
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