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关宏武

作品数：14 被引量：15H指数：2
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信机械工程电气工程更多>>

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共 14 条 记 录，以下是 1-10
舒福璋
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：静电 半导体 半导体制造 刻蚀工艺 均匀性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯小强
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：太阳能 半导体 太阳能电池 单晶圆 喷头
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宋伟峰
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：半导体 清洗工艺 RCA 晶圆 清洗机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段成龙
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：湿法刻蚀 CAE分析 CAE 化学清洗 全自动
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋文超
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：全自动 光刻版 半导体 自动设备 清洗机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
祝福生
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：湿法 全自动 机械手 硅片 污染物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张雅丽
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：尺寸稳定性 半导体设备 静电 振动 模块化设计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高津平
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：晶圆清洗 减薄 晶圆 QDR 节水阀
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郎平
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：IC 真空 流量传感器 助焊剂 重复定位精度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈平
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：太阳能 氮气 半导体生产 干燥装置 多线切割机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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