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邢哲
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河北工业大学
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
檀柏梅
河北工业大学信息工程学院微电子...
李薇薇
河北工业大学信息工程学院微电子...
王新
河北工业大学信息工程学院微电子...
孙鸣
河北工业大学信息工程学院微电子...
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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李薇薇
供职机构:河北工业大学信息工程学院
研究主题:CMP ULSI 超大规模集成电路 化学机械抛光 化学机械全局平面化
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檀柏梅
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
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王新
供职机构:河北工业大学
研究主题:锰锌铁氧体 纳米粉体 抛光液 MNZN铁氧体 SUB
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孙鸣
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 去除速率
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王胜利
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 螯合剂 去除速率
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刘利宾
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:抛光 CMP 化学机械抛光 去除速率 插塞
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王娜
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:半绝缘砷化镓 SI-GAAS 大直径 抛光液 离子注入
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张德臣
供职机构:河北工业大学
研究主题:锗 硅器件 键合强度 键合 化学机械全局平面化
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王辰伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
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