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谭智敏
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清华大学
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刘理天
清华大学信息科学技术学院微电子...
张兆华
清华大学信息科学技术学院微电子...
李志坚
清华大学信息科学技术学院微电子...
林惠旺
清华大学信息科学技术学院微电子...
李雯
清华大学信息科学技术学院微电子...
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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张兆华
供职机构:清华大学
研究主题:压力传感器 TPMS 混频器 环形振荡器 汽车电子
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李志坚
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:微机械 MEMS 硅 铁电薄膜 微麦克风
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李雯
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:3-D MEMS 电感 电感设计 通信领域
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林惠旺
供职机构:清华大学
研究主题:超大规模集成电路 半导体 压力传感器 压阻式压力传感器 灵敏度
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张艳红
供职机构:清华大学
研究主题:TPMS 压力传感器 硅基 灵敏度 MOS
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刘兵武
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:硅基 TPMS 压阻效应 应力分布 压阻式压力传感器
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薛昕
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:3-D MEMS 光刻胶 电感 SU-8
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齐臣杰
供职机构:海南师范大学
研究主题:MEMS 半导体制冷器 滤波器 微波集成电路 半导体制冷
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陈兢
供职机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题:电容式 MEMS 微麦克风 微传声器 电容式微传声器
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