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王小波
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中国科学院研究生院
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合作作者
陈大鹏
中国科学院微电子研究所
董立军
中国科学院微电子研究所
刘渝珍
中国科学院研究生院
奎热西
中国科学院高能物理研究所
陈超
中国科学院研究生院
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董立军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:沟道 氮化硅薄膜 红外焦平面阵列 纳米孔 MEMS
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供职机构
所获资助
研究领域
陈大鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
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所获资助
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刘渝珍
供职机构:中国科学院研究生院
研究主题:光致发光 快速退火 LPCVD RTA 硅
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
陈超
供职机构:中国科学院研究生院
研究主题:A-SI SICN X射线光电子能谱 XPS PL
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供职机构
所获资助
研究领域
奎热西
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:光电子能谱 光电子能谱研究 电子结构 光致发光 纳米晶
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