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刘金彪

作品数：124 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：电子电信文化科学自动化与计算机技术一般工业技术更多>>

合作作者

领域

  • 51个电子电信
  • 37个自动化与计算...
  • 32个一般工业技术
  • 31个文化科学
  • 29个理学
  • 27个电气工程
  • 26个金属学及工艺
  • 22个经济管理
  • 21个化学工程
  • 17个交通运输工程
  • 13个机械工程
  • 10个矿业工程
  • 8个建筑科学
  • 8个医药卫生
  • 7个核科学技术
  • 7个农业科学
  • 6个天文地球
  • 6个轻工技术与工...
  • 5个航空宇航科学...
  • 5个环境科学与工...

主题

  • 52个半导体
  • 49个刻蚀
  • 46个退火
  • 46个衬底
  • 43个金属
  • 43个半导体器件
  • 42个纳米
  • 41个电路
  • 40个离子注入
  • 40个集成电路
  • 40个光刻
  • 39个掺杂
  • 37个电极
  • 35个导体
  • 35个热退火
  • 34个氮化
  • 32个氧化硅
  • 31个氮化硅
  • 31个离子
  • 30个堆叠

机构

  • 52个中国科学院微...
  • 8个清华大学
  • 5个中国科学院
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  • 3个北京大学
  • 3个中国科学技术...
  • 3个中国科学院微...
  • 3个中国科学院大...
  • 2个兰州大学
  • 1个贵州大学
  • 1个北京林业大学
  • 1个湖南大学
  • 1个南京大学
  • 1个北京航空航天...
  • 1个河北大学
  • 1个西安理工大学
  • 1个西北工业大学
  • 1个湘潭大学
  • 1个华南理工大学
  • 1个浙江大学

资助

  • 26个国家自然科学...
  • 19个国家科技重大...
  • 18个国家重点基础...
  • 17个国家高技术研...
  • 7个中国科学院“...
  • 7个中国科学院知...
  • 7个中国科学院知...
  • 6个北京市自然科...
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  • 5个北京市科技新...
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传媒

  • 28个微纳电子技术
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  • 19个微电子学
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  • 6个光子学报
  • 6个压电与声光
  • 5个电子学报
  • 5个稀有金属

地区

  • 54个北京市
  • 1个安徽省
  • 1个甘肃省
共 56 条 记 录，以下是 1-10
李俊峰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨涛
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：刻蚀 衬底 半导体器件 化学机械平坦化 晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
贺晓彬
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：刻蚀 光刻胶 电子束曝光 电子束 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗军
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 金属硅化物 衬底 半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王桂磊
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 衬底 载流子迁移率 栅极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
殷华湘
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵超
供职机构：清华大学
研究主题：半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王垚
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：掺杂 热退火 沟道 衬底 半导体器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 衬底 介质层 波导
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张青竹
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 纳米片 叠层 纳米线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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