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刘茂哲

作品数：17 被引量：17H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信金属学及工艺机械工程更多>>

合作作者

领域

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资助

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地区

  • 14个北京市
  • 1个山东省
  • 1个广东省
共 16 条 记 录，以下是 1-10
景玉鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅片 气敏传感器 光刻胶 刻蚀 临界态
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高超群
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：气敏传感器 红外光 非制冷红外成像 谱式 二氧化碳
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李全宝
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电磁驱动 微机电系统 平面线圈 射频微机电系统开关 传输线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
欧毅
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氮化硅薄膜 刻蚀 MEMS 牺牲层 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗小光
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：空气压缩机 晶圆 磨料 微孔 电荷
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
焦斌斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：平面阵列 非制冷红外成像 焦平面阵列 芯片 红外成像
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
惠瑜
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅片 反应气体 二氧化碳超临界流体 二氧化碳 流量控制器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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