李全宝
- 作品数：17 被引量：18H指数：3
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信金属学及工艺机械工程更多>>
- 绿色二氧化碳超临界清洗设备被引量：7
- 2008年
- 半导体IC清洗技术由于水溶液的表面张力大而无法进入硅片上器件的狭缝与电路线条间隙中进行清洗,同时不易干燥,且干燥时会造成二次污染,从而使得整个工艺耗水量大且清洗效果不佳。以超临界流体为媒体的清洗技术是克服以上缺点的最佳途径。提出并研制了一种绿色二氧化碳超临界清洗设备,它利用超流体二氧化碳来进行硅片的清洗和无张力的超临界干燥,而且该设备还可以对微细结构进行无粘连的牺牲层释放。设备的成本低,二氧化碳使用量少,并且可以循环使用,属于绿色无污染的新型半导体清洗设备。
- 高超群李全宝刘茂哲景玉鹏
- 关键词：超临界流体
- 一种电磁驱动推拉式射频微机电系统开关
- 本发明涉及微机电系统(MEMS)应用中的射频微机电系统(RFMEMS)技术领域，公开了一种电磁驱动推拉式RF MEMS开关，该射频微机电系统开关包括扭摆梁开关可动部分、电磁驱动部分和传输线部分，在电磁驱动部分的平面线圈加...
- 李全宝景玉鹏陈大鹏欧毅叶甜春
- 文献传递
- 石英晶圆深微孔加工设备及方法
- 本发明公开了一种石英晶圆深微孔加工设备，该设备包括空气压缩机、喷砂枪和载玻台，所述压缩机连接着喷砂枪，压缩机向喷砂枪输送高压缩空气，致使喷砂枪内的磨料高速喷击到置于载玻台的石英晶圆上，利用高速运动的磨料撞击石英材料实现在...
- 罗小光刘茂哲李全宝高超群景玉鹏
- 文献传递
- 光谱式MEMS/CMOS兼容气敏传感器
- 2008年
- 光谱技术是化学分析的终极手段.将光谱技术与MEMS(micro-electro-mechanical systems)和CMOS技术结合是解决当前气敏传感器灵敏度低、选择性差、体积大、功耗高、不便于阵列化和高度集成以至于无梯度立体矢量探测能力等问题的有效手段.本文介绍了一种制作于(110)硅片上的集成光谱式MEMS/CMOS兼容气敏传感器,详述了该气敏传感器的工作原理、传感器结构和制造工艺.
- 高超群焦斌斌刘茂哲李全宝杨锴石莎莉李志刚欧毅景玉鹏陈大鹏
- 关键词：MEMS气敏传感器光谱分析
- 绿色二氧化碳超流体半导体清洗设备被引量：6
- 2008年
- 传统半导体清洗技术无法对硅片上的微小器件间的缝隙和线条进行有效清洗,以超临界二氧化碳为媒体的清洗技术则可克服上述缺点。超临界二氧化碳具有零表面张力、低黏度、强扩散能力和溶解能力等特性,并且无毒无臭、可以循环使用,在下一代半导体清洗和清洗后的干燥过程中有极强的应用前景。提出了一种绿色二氧化碳超流体半导体清洗设备,它可实现超流体清洗和超临界干燥,二氧化碳循环使用,属于新型高效的下一代绿色半导体清洗设备。
- 高超群李全宝刘茂哲景玉鹏
- 关键词：超临界二氧化碳
- 基于单晶硅梁的静电RF MEMS开关被引量：3
- 2007年
- RFMEMS开关是低功耗、低损耗高频通讯电路和系统的关键部件,静电驱动RFMEMS开关因具有零直流功耗、开关时间短、结构简单、易集成的优点而成为研究热点,但是驱动电压高、薄膜应力变形严重、寿命短等问题制约了其发展,提出了一种基于单晶硅梁的推拉式静电RFMEMS开关结构,能够解决静电RFMEMS现有的缺陷。
- 刘茂哲景玉鹏李全宝焦斌斌黄钦文李超波欧毅陈大鹏叶甜春
- 关键词：射频微机械开关静电驱动
- 电磁驱动RFMEMS开关的研究状况被引量：2
- 2007年
- RFMEMS技术在民用和军事方面有巨大的潜力,作为其核心器件的RFMEMS开关很有希望在雷达和通信领域之中成为关键器件。电磁驱动RFMEMS开关具有工作电压比较低,驱动力大,可以工作在恶劣的环境等优点,使其成为近年来RFMEMS开关研究的一个热点。
- 李全宝景玉鹏刘茂哲陈大鹏欧毅马瑾叶甜春
- 关键词：MEMS技术MEMS开关电磁驱动工作电压驱动力
- 一种二氧化碳超临界干燥装置
- 本实用新型涉及微电子技术中的微机电系统关键制造技术的牺牲层释放技术领域，公开了一种二氧化碳超临界干燥装置，该装置包括：超临界干燥室，用于牺牲层的释放，由高压反应室4和温度控制室5组成；高压反应室4用于盛放硅片支架，提供二...
- 李全宝景玉鹏陈大鹏欧毅叶甜春
- 文献传递
- 一种二氧化碳超临界干燥装置
- 本发明涉及微电子技术中的微机电系统关键制造技术的牺牲层释放技术领域，公开了一种二氧化碳超临界干燥装置，该装置包括：超临界干燥室，用于牺牲层的释放，由高压反应室4和温度控制室5组成；高压反应室4用于盛放硅片支架，提供二氧化...
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- 文献传递
- 一种双稳态单晶硅梁射频微机电系统开关
- 本发明涉及射频微机电系统技术领域，公开了一种双稳态单晶硅梁射频微机电系统开关，该射频微机电系统开关包括电磁驱动部分和悬臂梁可动部分，电磁驱动部分和悬臂梁可动部分采用对准键合方式结合在一起；电磁驱动部分具有铁心铁壳和永磁体...
- 李全宝景玉鹏陈大鹏欧毅叶甜春
- 文献传递
