2024年11月27日
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韩传宇
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中国科学院微电子研究所
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合作作者
赵玲利
中国科学院微电子研究所
王守国
中国科学院微电子研究所
贾少霞
中国科学院微电子研究所
张朝前
中国科学院微电子研究所
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王守国
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:常压 等离子体 常压等离子体 自由基 等离子体发生器
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赵玲利
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 常压 常压等离子体 自由基 等离子体发生器
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贾少霞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:自由基 等离子体 常压等离子体 工作气体 推进器
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张朝前
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 常压等离子体 绝缘介质 自由基 等离子体发生器
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