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赵玲利

作品数：64 被引量：79H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：北京市服装材料研究开发与评价重点实验室资助项目更多>>
相关领域：电子电信轻工技术与工程理学医药卫生更多>>

合作作者

文献类型

  • 38篇专利
  • 13篇会议论文
  • 12篇期刊文章

领域

  • 11篇电子电信
  • 6篇轻工技术与工...
  • 3篇化学工程
  • 3篇医药卫生
  • 3篇理学
  • 1篇机械工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇农业科学

主题

  • 34篇等离子体
  • 20篇自由基
  • 18篇常压等离子体
  • 17篇常压
  • 10篇放电
  • 9篇等离子体发生...
  • 8篇接地电极
  • 8篇工作气体
  • 7篇光刻
  • 7篇滚轴
  • 6篇射频
  • 6篇绝缘
  • 6篇放电区
  • 5篇离子
  • 5篇冷等离子体
  • 5篇改性
  • 5篇X射线光刻
  • 5篇表面改性
  • 4篇电极
  • 4篇移动机械手

机构

  • 53篇中国科学院微...
  • 9篇中国科学院光...
  • 2篇中国科学院
  • 2篇中国人民解放...
  • 1篇北京服装学院
  • 1篇四川大学
  • 1篇武汉科技学院
  • 1篇中国纺织科学...
  • 1篇中国科学院微...

作者

  • 63篇赵玲利
  • 57篇王守国
  • 20篇杨景华
  • 15篇贾少霞
  • 12篇张朝前
  • 9篇叶甜春
  • 8篇张超前
  • 5篇韩传余
  • 5篇韩传宇
  • 5篇陈大鹏
  • 4篇胥兴才
  • 4篇李兵
  • 4篇谢常青
  • 3篇徐向宇
  • 3篇李海江
  • 3篇韩敬东
  • 2篇常啸
  • 2篇邢玉斌
  • 2篇索继江
  • 1篇徐憬

传媒

  • 2篇Journa...
  • 2篇第十一届全国...
  • 1篇半导体技术
  • 1篇毛纺科技
  • 1篇微生物学报
  • 1篇纺织学报
  • 1篇高分子材料科...
  • 1篇光散射学报
  • 1篇武汉科技学院...
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇清洗世界
  • 1篇材料科学与工...
  • 1篇2004中国...
  • 1篇第十二届全国...
  • 1篇第十一届全国...
  • 1篇第四届全国印...
  • 1篇第十五届全国...
  • 1篇2006中国...
  • 1篇中国真空学会...

年份

  • 2篇2017
  • 12篇2013
  • 6篇2012
  • 9篇2011
  • 11篇2010
  • 3篇2008
  • 2篇2007
  • 5篇2006
  • 4篇2005
  • 3篇2004
  • 1篇2002
  • 2篇2001
  • 1篇2000
  • 1篇1999
  • 1篇1994
共 64 条 记 录，以下是 1-10
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放电设备
本实用新型提供了一种放电设备，属于等离子体技术领域。所述放电设备包括：电极阵列，设置成圆弧状，并连接至高频脉冲电源；圆滚轴，由金属制成，并设置成与圆弧状的电极阵列同圆心，用于在接通高频脉冲电源时，在其与电极阵列之间进行放...
杨景华张超前赵玲利王守国
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一种高频高压单电极等离子体推进器
本发明公开了一种高频高压单电极等离子体推进器，包括一个尖端电极、喷气管、高频高压电源等，其特征为：一个高频高压尖端电极安装在一个喷气管中心线上，该喷气管固定在一个设有进气通道的绝缘材料上，气源气体是通过绝缘材料内的气体通...
王守国贾少霞赵玲利
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常压冷等离子体对羊毛织物处理的研究
本文介绍了一种大面积的常压低温等离子体放电通道设备。利用该设备所产生的Ar/O2和He/O2等离子体，分别对羊毛织物进行了放电处理，利用扫描电镜分析比较了羊毛织物经过等离子体处理前后的微观特征，实验发现经等离子体处理后，...
赵玲利徐向宇王守国
关键词：羊毛织物放电处理亲水性
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一种组合等离子体放电装置
本发明公开了一种组合等离子体放电装置，包括一个位于中间的平板之间的放电和两侧的滚轴之间的放电，该平板之间的放电是由安装在框架上的一个平板地电极和与该平板地电极有一定间隙的高压电极构成，在该平板地电极与高压电极之间设有一个...
张朝前杨景华赵玲利王守国
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一种新型的常压双介质阻挡扁口型活性自由基清洗设备
本发明是一种新型的常压双介质阻挡扁口型活性自由基清洗设备，包括高压电极、介质阻挡层、接地电极、电源、移动机械手以及进气和排气系统。该设备的特性在于高压电极和地电极分别由介质阻挡层包裹，在常压下即可在高压电极和接地电极的间...
王守国赵玲利
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深亚微米同步辐射X射线光刻模拟
模拟技术在光刻技术的发展过程中一直起着非常重要的作用.本文介绍我们采用束衍生法及快速傅里叶变换相结合的方法来研究X射线掩模中吸收体的光导波效应,对光刻胶表面的空间光强分布及光刻胶剖面进行的模拟计算.基于面向对象技术,初步...
谢常青叶甜春陈大鹏李兵赵玲利胥兴才韩敬东胥俊红
关键词：X射线光刻面向对象光刻胶
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常压低温等离子体APPJ技术对微生物的杀灭研究
＜正＞ 为初步研究探讨APPJ等离子体对微生物的影响机制,用APPJ与DBD两种不同类型等离子体对不同代表微生物金黄色葡萄球菌、大肠杆菌、枯草杆菌黑色变种进行处理,分析比较不同微生物对不同等离子体的存活曲线;进而利用扫描...
韩黎王守国常啸赵玲利索继江邢玉斌
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常压射频冷等离子体刻蚀硅的研究被引量：2
2007年
介绍一种新型的常压射频低温冷等离子放电设备,并用该设备进行硅刻蚀的工艺实验.研究了刻蚀硅的速率随等离子体放电功率、气体流量以及衬底温度的变化规律,并得到了最大刻蚀速率为390nm/min.利用台阶仪、显微镜和扫描电镜(SEM)对刻蚀效果进行检测与分析,证实了该设备对硅的浅刻蚀具有较好的均匀性和较高的各向异性.结果表明,该设备在常压下刻蚀硅,操作简单且不易对材料表面产生损伤.
赵玲利段小晋尹明会徐向宇王守国
关键词：常压射频等离子体刻蚀硅
放电设备
本发明提供了一种放电设备，属于等离子体技术领域。所述放电设备包括：电极阵列，设置成圆弧状，并连接至高频脉冲电源；圆滚轴，由金属制成，并设置成与圆弧状的电极阵列同圆心，用于在接通高频脉冲电源时，在其与电极阵列之间进行放电。...
杨景华张超前赵玲利王守国
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一种新型的双介质阻挡常压等离子体自由基清洗喷枪
一种新型的双介质阻挡常压等离子体自由基清洗喷枪，包括一个射频电极、两个接地电极、介质阻挡层和一个射频电源，其特征在于：石英或陶瓷作为介质阻挡层，包裹着射频电极和接地电极，工作气体采用氩气和氧气的混合气体，接地电极保持接地...
王守国赵玲利
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