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王小宝
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
北京大学微电子学研究院
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发文基金:
中国博士后科学基金
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
阮勇
北京大学微电子学研究院
于晓梅
北京大学微电子学研究院
李婷
北京大学微电子学研究院
杜先锋
北京大学微电子学研究院
张大成
北京大学微电子学研究院
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李婷
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
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供职机构
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杜先锋
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS器件 工艺技术 革命性 芯片级封装 体硅
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供职机构
所获资助
研究领域
阮勇
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 继电器 刻蚀 微电子机械系统 微机电系统
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
张大成
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
发表作品
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供职机构
所获资助
研究领域
于晓梅
供职机构:北京大学
研究主题:红外焦平面阵列 悬臂梁 单片集成 平面阵列 微悬臂梁传感器
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相关人物
供职机构
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