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焦继伟

作品数:84 被引量:125H指数:6
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术理学机械工程更多>>

领域

  • 74个电子电信
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主题

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  • 49个传感器
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  • 34个微机械陀螺
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机构

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  • 2个上海理工大学
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  • 2个上海大学
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资助

  • 59个国家自然科学...
  • 48个国家高技术研...
  • 38个国家重点基础...
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  • 6个国家科技支撑...
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传媒

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  • 9个电子学报
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  • 8个科学通报
  • 8个固体电子学研...
  • 8个微细加工技术

地区

  • 60个上海市
  • 10个浙江省
  • 9个北京市
  • 5个江苏省
  • 2个辽宁省
86 条 记 录,以下是 1-10
王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊斌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 键合 热电堆 弹性梁 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李铁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨恒
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张颖
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械陀螺 微机械加工 固有频率 摄动法 统计分析
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯飞
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:色谱柱 热导检测器 固定相 微机电系统 气相色谱柱
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王敏昌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:角速度传感器 真空封装 基板 电极 致密性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王安麟
供职机构:同济大学机械与能源工程学院
研究主题:液力变矩器 微机械陀螺 遗传算法 工程机械 自组织
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姜涛
供职机构:同济大学机械与能源工程学院
研究主题:微机械陀螺 弹性梁 相移 陀螺 元胞自动机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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