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李理

作品数：14 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
相关领域：经济管理电子电信金属学及工艺更多>>

合作作者

领域

  • 5个电子电信
  • 3个经济管理
  • 2个金属学及工艺
  • 2个自动化与计算...
  • 2个一般工业技术
  • 2个文化科学

主题

  • 6个碳化硅
  • 6个刻蚀
  • 5个碳化硅材料
  • 5个自对准
  • 5个光刻
  • 5个干法刻蚀
  • 4个电路
  • 4个掩膜
  • 4个氧化层
  • 4个湿法腐蚀
  • 4个树脂
  • 4个退火
  • 3个导电类型
  • 3个等离子体
  • 3个亚微米
  • 3个微米
  • 2个单胞
  • 2个单晶
  • 2个单晶硅
  • 2个导通

机构

  • 7个中国电子科技...
  • 1个南京电子器件...

资助

  • 1个国家高技术研...
  • 1个浙江省教育厅...
  • 1个国家电网公司...
  • 1个江苏省“青蓝...
  • 1个中央高校基本...

传媒

  • 2个半导体技术
  • 2个第十五届全国...
  • 1个科技导报
  • 1个电力电子技术
  • 1个电工技术学报
  • 1个电子器件
  • 1个固体电子学研...
  • 1个微电子学
  • 1个智能电网
  • 1个第九届中国国...
  • 1个2013年全...
  • 1个2012全国...

地区

  • 7个江苏省
共 7 条 记 录，以下是 1-7
柏松
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：碳化硅 导电类型 刻蚀 外延层 沟道
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈刚
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：碳化硅 刻蚀 自对准 碳化硅器件 高温退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘海琪
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：刻蚀 干法刻蚀 碳化硅 BCB 亚微米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王泉慧
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：刻蚀 干法刻蚀 亚微米 半导体器件 反应气体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王雯
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：光刻 半导体材料 金属膜 自对准 酸性溶液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陶永洪
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：碳化硅 SIC H型 4H-SIC 界面态
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈征
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：金属 氧化层 BCB 磷化铟 微波电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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