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惠瑜

作品数：14 被引量：12H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金中国科学院知识创新工程更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

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景玉鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅片 气敏传感器 光刻胶 刻蚀 临界态
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高超群
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：气敏传感器 红外光 非制冷红外成像 谱式 二氧化碳
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王磊
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：临界态 光刻胶 二次谐波 硅片 厚层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘茂哲
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：静电 微机电系统 压室 半导体制冷 光谱分析
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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