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王磊

作品数：78 被引量：27H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金中国科学院知识创新工程更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 71篇专利
  • 6篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 18篇电子电信
  • 6篇自动化与计算...
  • 5篇电气工程
  • 3篇金属学及工艺
  • 3篇机械工程
  • 2篇经济管理
  • 2篇石油与天然气...
  • 2篇理学
  • 1篇化学工程
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇医药卫生
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇文化科学

主题

  • 12篇临界态
  • 12篇光刻
  • 12篇光刻胶
  • 11篇硅片
  • 9篇二次谐波
  • 9篇半导体
  • 8篇损失最小化
  • 8篇最小化
  • 8篇流体
  • 8篇混合流体
  • 8篇厚层
  • 7篇样片
  • 7篇刻蚀
  • 6篇气瓶
  • 6篇光学
  • 6篇发光
  • 6篇衬底
  • 5篇光学系统
  • 5篇超临界
  • 5篇超临界二氧化...

机构

  • 78篇中国科学院微...
  • 2篇中国科学院
  • 1篇北方工业大学
  • 1篇中国人民解放...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 78篇王磊
  • 38篇景玉鹏
  • 37篇李博
  • 19篇韩郑生
  • 19篇赵发展
  • 12篇罗家俊
  • 11篇宿晓慧
  • 10篇滕瑞
  • 9篇张紫辰
  • 6篇卜建辉
  • 6篇刘海南
  • 5篇惠瑜
  • 5篇高超群
  • 5篇刘新宇
  • 5篇高见头
  • 4篇郑中山
  • 4篇高林春
  • 3篇周虹珊
  • 2篇孔延梅
  • 2篇李博

传媒

  • 3篇微纳电子技术
  • 1篇微处理机
  • 1篇传感器与微系...
  • 1篇现代应用物理

年份

  • 8篇2023
  • 21篇2022
  • 4篇2021
  • 1篇2020
  • 4篇2019
  • 1篇2015
  • 2篇2014
  • 8篇2013
  • 13篇2012
  • 7篇2011
  • 9篇2010
共 78 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种超临界二氧化碳吹洗硅片系统
本实用新型公开了一种超临界二氧化碳吹洗硅片系统，包括：氟化氢源、液态二氧化碳源、第一流量控制阀、第二流量控制阀、加热器、高压泵、高压密闭腔室(5)、针型阀(8)、溢出腔(9)、碱性溶液(10)、过滤纯化装置(11)和冷凝...
王磊惠瑜高超群景玉鹏
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一种二次谐波测量方法及测量仪器
本申请公开一种二次谐波测量方法及测量仪器，方法包括：获取入射激光束以第一入射角度照射在待测样品上形成的第一光斑面积；根据所述第一光斑面积和第一光学参数，获取标准光学功率密度；获取所述入射激光束以第二入射角度照射在所述待测...
赵泓达李博王磊王然张紫辰张昆鹏滕瑞刘海南赵发展
二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置
本发明提供了一种二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置，该二次谐波表征光学系统通过增加耦合联动机构，入射臂在圆弧导轨上滑动时，能够同步带动出射臂在圆弧导轨上耦合联动，使出射臂同步粗调到二次谐波信号的传输光路上，...
王然张喆张昆鹏赵泓达岳嵩王磊李博张学文张紫辰
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一种半导体器件的制作方法及半导体器件
本申请提供了一种半导体器件的制作方法，该半导体器件的制作方法，包括：提供一基板，具有相对的第一表面和第二表面；在第一表面形成功能层；在所述功能层的内部形成缺陷；在所述功能层背离所述基板一侧形成电极结构。通过向功能层发射高...
钟傲雪朱慧平王磊陆芃李晓静李博
打孔系统及方法
本发明公开了一种打孔系统包括：CO<Sub>2</Sub>气瓶、HF气瓶、用于形成CO<Sub>2</Sub>和HF的混合气体且使所述混合气体中的CO<Sub>2</Sub>达到超临界态的控制装置及用于对玻璃片打孔的反应...
王磊景玉鹏
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一种SRAM单元结构、SRAM存储器以及上电初始化方法
本发明公开一种SRAM单元结构、SRAM存储器以及上电初始化方法，属于半导体领域。以解决由于主从结构的引入增加了较多的晶体管和增加了较多的控制信号，会增大芯片面积，增加功耗的技术问题。所述SRAM单元结构包括存储元，所述...
宿晓慧苏泽鑫李博王磊张学文罗家俊韩郑生
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基于超临界二氧化碳微乳液干燥的装置及方法
本发明公开了一种基于超临界二氧化碳微乳液的干燥装置及方法，利用液态二氧化碳置换水基清洗液，然后加入表面活性剂并加热二氧化碳使其达到超临界态对光刻胶或MEMS中的微结构等进行干燥。该方法由于避免了气液界面的产生和防止了表面...
王磊景玉鹏
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一种可检真空度的真空玻璃及系统
本发明提供的一种可检真空度的真空玻璃及系统，所述真空玻璃包括：第一平板玻璃、第二平板玻璃、封口片和真空计；所述第一平板玻璃和所述第二平板玻璃相对设置，所述第一平板玻璃和所述第二平板玻璃之间的边部设置有真空密封，所述第一平...
王磊孔延梅焦斌斌李博赵发展韩郑生罗家俊刘新宇
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高温水蒸气和水混合射流清洗系统及方法
公开了一种清洗系统，包括：两个去离子水储罐、用于对去离子水加热并使其达到高温状态的控制装置、清洗腔室及用于将含去离子水和高温状态水蒸气的混合流体喷射到清洗腔室的喷射装置；其中，一去离子水储罐的出口通过所述控制装置与所述喷...
王磊景玉鹏
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超临界二氧化碳涂胶系统
本实用新型提供了一种超临界二氧化碳涂胶系统，属于半导体技术领域。所述系统包括：储料装置，至少包括容纳二氧化碳的第一存储罐和容纳光刻胶的第二存储罐；超临界二氧化碳涂胶腔，包括腔体；喷射二氧化碳和光刻胶的喷头，喷头位于腔体内...
王磊景玉鹏
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