2024年11月27日
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张朝前
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中国科学院微电子研究所
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合作作者
王守国
中国科学院微电子研究所
赵玲利
中国科学院微电子研究所
杨景华
中国科学院微电子研究所
路鑫超
中国科学院微电子研究所
刘虹遥
中国科学院微电子研究所
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王守国
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:常压 等离子体 常压等离子体 自由基 等离子体发生器
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赵玲利
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 常压 常压等离子体 自由基 等离子体发生器
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杨景华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 滚轴 常压 放电装置 自由基
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路鑫超
供职机构:中国科学院微电子研究所
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供职机构:中国科学院微电子研究所
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供职机构:中国科学院微电子研究所
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供职机构:中国科学院微电子研究所
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熊伟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:椭偏测量 倏逝波 系统参数 延迟量 起偏器
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韩传宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:自由基 等离子体发生器 常压等离子体 放电间隙 绝缘介质
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宋金保
供职机构:中国纺织科学研究院
研究主题:常压等离子体 退浆
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