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姚明秋

作品数:19 被引量:13H指数:2
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文基金:国家自然科学基金中国工程物理研究院科技发展基金更多>>
相关领域:电子电信机械工程轻工技术与工程电气工程更多>>

领域

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主题

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机构

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唐彬
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层
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席仕伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微电子机械系统 MEMS 飞片 声表面波滤波器 干法刻蚀
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王旭光
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:悬臂梁 极板 键合 超快激光 加速度传感器
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苏伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 石英 键合 刻蚀 结构层
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沈朝阳
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 易加工 加速度计 极板 振梁加速度计
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李玉萍
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:极板 锚点 微加速度传感器 热压键合 全金属
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程永生
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 仿真 极板 锚点 微加速度传感器
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孙远程
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度传感器 固有频率 压敏电阻 微机械加速度传感器 侵彻
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谭刚
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP LPCVD 多晶硅薄膜 平坦化
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陈颖慧
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:结构层 微加速度计 微电子机械系统 声表面波滤波器 尺寸控制
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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