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姚明秋
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19
被引量:13
H指数:2
供职机构:
中国工程物理研究院电子工程研究所
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相关领域:
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合作作者
唐彬
中国工程物理研究院电子工程研究...
王旭光
中国工程物理研究院电子工程研究...
席仕伟
中国工程物理研究院电子工程研究...
苏伟
中国工程物理研究院电子工程研究...
沈朝阳
中国工程物理研究院电子工程研究...
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唐彬
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层
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席仕伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微电子机械系统 MEMS 飞片 声表面波滤波器 干法刻蚀
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王旭光
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:悬臂梁 极板 键合 超快激光 加速度传感器
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所获资助
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苏伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 石英 键合 刻蚀 结构层
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沈朝阳
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 易加工 加速度计 极板 振梁加速度计
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李玉萍
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:极板 锚点 微加速度传感器 热压键合 全金属
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程永生
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 仿真 极板 锚点 微加速度传感器
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孙远程
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度传感器 固有频率 压敏电阻 微机械加速度传感器 侵彻
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谭刚
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP LPCVD 多晶硅薄膜 平坦化
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陈颖慧
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:结构层 微加速度计 微电子机械系统 声表面波滤波器 尺寸控制
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