2024年12月19日
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姚军
作品数:
7
被引量:5
H指数:1
供职机构:
西安微电子技术研究所
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发文基金:
国防科技技术预先研究基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
单光宝
西安微电子技术研究所
阮晓明
西安微电子技术研究所
王忠芳
西安微电子技术研究所
唐磊
西安微电子技术研究所
耿增建
西安微电子技术研究所
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王忠芳
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:单粒子 碳化硅 高抗 金属 氧化层
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研究领域
阮晓明
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:石英挠性加速度计 差动电容 伺服电路 力矩器 标度因数
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所获资助
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唐磊
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:微系统 裸芯片 星载 KGD 基板
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供职机构
所获资助
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单光宝
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:MEMS TSV 硅微加速度计 MEMS器件 掩膜
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供职机构
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耿增建
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:硅微加速度计 噪声 加速度计 差动电容 硅
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相关人物
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王健
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:肖特基二极管 氧化层 高抗 硅外延层 光刻
发表作品
相关人物
供职机构
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研究领域
王永录
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:MEMS 掩膜 封装 硅微加速度计 武器
发表作品
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供职机构
所获资助
研究领域
张文鹏
供职机构:西安微电子技术研究所
研究主题:晶圆 背面金属化 达林顿管 传感器 氧化层
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