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刘增水

作品数:5 被引量:8H指数:2
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金:国家高技术研究发展计划国家攀登计划更多>>
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领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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地区

  • 7个上海市
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路敦武
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻 光学 敏感区 散射光 信噪比
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王润文
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光器 CO_2激光 高功率 激光 气体激光器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何伟
供职机构:同济大学
研究主题:微机械 针尖 机械加工工艺 微构件 显微镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈蓓军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:微机械 光刻 微细加工 LIGA 准分子激光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨良民
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:微机械 接近式光刻 光刻分辨率 分辨率 准分子激光光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵永凯
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:生物传感器 在线检测装置 气溶胶 敏感区 生物气溶胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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