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刘增水
刘增水
作品数:
5
被引量:8
H指数:2
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
核科学技术
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合作作者
黄惠杰
中国科学院上海光学精密机械研究...
路敦武
中国科学院上海光学精密机械研究...
王润文
中国科学院上海光学精密机械研究...
杨良民
中国科学院上海光学精密机械研究...
沈蓓军
中国科学院上海光学精密机械研究...
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路敦武
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻 光学 敏感区 散射光 信噪比
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
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王润文
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光器 CO_2激光 高功率 激光 气体激光器
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何伟
供职机构:同济大学
研究主题:微机械 针尖 机械加工工艺 微构件 显微镜
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沈蓓军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:微机械 光刻 微细加工 LIGA 准分子激光
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杨良民
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:微机械 接近式光刻 光刻分辨率 分辨率 准分子激光光刻
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赵永凯
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:生物传感器 在线检测装置 气溶胶 敏感区 生物气溶胶
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