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余强

作品数:25 被引量:17H指数:2
供职机构:清华大学更多>>
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相关领域:环境科学与工程自动化与计算机技术化学工程更多>>

领域

  • 13个自动化与计算...
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  • 10个电子电信
  • 9个机械工程
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主题

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  • 10个膜厚
  • 10个晶圆
  • 10个控制器
  • 9个电路
  • 9个圆台
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  • 9个化学机械抛光
  • 8个以太
  • 8个以太网
  • 8个物理连接
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  • 7个电机
  • 7个电涡流
  • 7个信号
  • 6个电极
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机构

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资助

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传媒

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  • 3个化学进展
  • 3个造纸信息
  • 3个中国表面工程

地区

  • 15个北京市
  • 1个江苏省
16 条 记 录,以下是 1-10
路新春
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵乾
供职机构:清华大学
研究主题:电极 隐身 晶圆 图像增强 涡流传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孟永钢
供职机构:清华大学
研究主题:电流变液 隐身 气体润滑 金属 脱附
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李弘恺
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 CMP 控制系统 膜厚 电涡流传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓述波
供职机构:清华大学
研究主题:吸附剂 全氟化合物 微生物絮凝剂 有机污染物 废水处理
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
余刚
供职机构:江苏省农业科学院
研究主题:有机污染物 持久性有机污染物 光催化剂 多氯联苯 降解
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵德文
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何永勇
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
门延武
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 压力源 晶圆 半导体制造技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曲子濂
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 化学机械抛光 膜厚 涡流传感器 标定方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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