2024年12月18日
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余强
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25
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供职机构:
清华大学
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环境科学与工程
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合作作者
赵乾
清华大学
路新春
清华大学
孟永钢
清华大学
李弘恺
清华大学
邓述波
清华大学环境学院持久性有机污染...
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路新春
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
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赵乾
供职机构:清华大学
研究主题:电极 隐身 晶圆 图像增强 涡流传感器
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孟永钢
供职机构:清华大学
研究主题:电流变液 隐身 气体润滑 金属 脱附
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李弘恺
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 CMP 控制系统 膜厚 电涡流传感器
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邓述波
供职机构:清华大学
研究主题:吸附剂 全氟化合物 微生物絮凝剂 有机污染物 废水处理
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余刚
供职机构:江苏省农业科学院
研究主题:有机污染物 持久性有机污染物 光催化剂 多氯联苯 降解
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赵德文
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔
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何永勇
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
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门延武
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 压力源 晶圆 半导体制造技术
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曲子濂
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 化学机械抛光 膜厚 涡流传感器 标定方法
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