2024年12月21日
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魏全忠
作品数:
35
被引量:73
H指数:5
供职机构:
中国科学院光电技术研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
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合作作者
蒋世磊
中国科学院光电技术研究所
栗坤
中国科学院光电技术研究所
陈旭南
中国科学院光电技术研究所
伍凡
中国科学院光电技术研究所
齐晓慧
中国科学院光电技术研究所
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蒋世磊
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光学设计 光学系统 干涉光刻 光阑 光学镜头
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栗坤
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光学镜头 齿轮传动机构 焊机 观察镜 观察窗
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陈旭南
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 原子束 微细图形 光刻 投影光刻物镜
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研究领域
伍凡
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:干涉仪 面形 光学元件 非球面 球面
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供职机构
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研究领域
叶红伟
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:工艺技术 膜厚均匀性 镀膜技术 变焦系统 光学系统
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齐晓慧
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:G线 亚微米 投影光刻物镜 I 微电子学
发表作品
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供职机构
所获资助
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李展
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:原子束 星敏感器 微细图形 原子光刻 遮光罩
发表作品
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供职机构
所获资助
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姚汉民
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
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陈元培
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:原子束 原子光刻 激光驻波场 相机 原子光学
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程刚
供职机构:中国矿业大学
研究主题:并联机构 并联 动平台 电牵引采煤机 采煤机
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