您的位置： 专家智库 > >

齐晓慧

作品数：3 被引量：11H指数：1
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇会议论文
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇亚微米
  • 2篇投影光刻
  • 2篇投影光刻物镜
  • 2篇微米
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻物镜
  • 2篇G线
  • 2篇I
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子学
  • 1篇红外
  • 1篇红外镜头

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇魏全忠
  • 3篇齐晓慧
  • 2篇姚汉民
  • 1篇马天梦

传媒

  • 1篇光学技术
  • 1篇中国光学学会...

年份

  • 1篇2001
  • 2篇1998
共 3 条 记 录，以下是 1-3
全选 清除 导出
排序方式：
一种红外镜头的结构设计和定心装校方法
红外光学系统在跟踪、探测领域的应用越来越广泛。由于红外光学材料不透可见光,所以传统的基于可见光成像原理的光学定心方法和检测仪器均不能直接用于红外光学系统的定心装校。其次,有些红外膜层不能直接接触,装校时必须采用非接触方法...
魏全忠齐晓慧高春强马天梦
文献传递
亚微米(i线和g线)投影光刻物镜的光学装校
列出了i线和g线大数值孔径亚微米投影光刻物镜的技术指标要求，讨论了这类超高精度光刻物镜的光学装校技术特点，报告了计算机辅助高精度复杂光学系统偏心校正仪器和方法，最后给出了i线和g线光刻物镜装校检测结果。
姚汉民魏全忠齐晓慧
关键词：投影光刻物镜
亚微米(i线和g线)投影光刻物镜的光学装校被引量：11
1998年
本文列出了ｉ线和ｇ线大数值孔径亚微米投影光刻物镜的技术指标要求，讨论了这类超高精度光刻物镜的光学装校技术特点，报告了计算机辅助高精度复杂光学系统偏心校正仪器和方法，最后给出了ｉ线和ｇ线光刻物镜装校检测结果。
姚汉民魏全忠齐晓慧
关键词：投影光刻物镜微电子学亚微米
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0