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高磊
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中国科学院物理研究所
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理学
一般工业技术
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合作作者
纪爱玲
中国科学院物理研究所
曹则贤
中国科学院物理研究所
鲁年鹏
中国科学院物理研究所
鲁振
中国科学院物理研究所
李超荣
浙江理工大学理学院
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纪爱玲
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:电弧离子镀 反应气体 电阻率 热障涂层 脉冲偏压
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曹则贤
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:物理学 咬文嚼字 近代物理 数学 量子力学
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鲁年鹏
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:衬底 硅团簇 硅薄膜 纳米硅薄膜 薄膜应力
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所获资助
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鲁振
供职机构:中国科学院物理研究所
研究主题:衬底 硅团簇 硅薄膜 纳米硅薄膜 硅
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李超荣
供职机构:浙江理工大学
研究主题:SUB 反应釜 液相法 光学器件 单晶材料
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