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李弘恺
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路新春
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孟永钢
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路新春
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研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
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研究主题:晶圆 化学机械抛光 工业以太网 工控机 CMP
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余强
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研究主题:晶圆 膜厚 圆台 涡流传感器 全氟化合物
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孟永钢
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研究主题:电流变液 隐身 气体润滑 金属 脱附
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门延武
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曲子濂
供职机构:清华大学
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赵德文
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研究主题:化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔
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王同庆
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研究主题:化学机械抛光 晶圆 CMP 抛光液 抛光垫
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