您的位置： 专家智库 > >

张琦辉

作品数：7 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>

合作作者

领域

  • 12个电子电信
  • 10个自动化与计算...
  • 8个电气工程
  • 8个一般工业技术
  • 8个文化科学
  • 8个理学
  • 7个矿业工程
  • 7个金属学及工艺
  • 5个机械工程
  • 5个交通运输工程
  • 3个经济管理
  • 3个化学工程
  • 2个建筑科学
  • 2个核科学技术
  • 1个生物学
  • 1个天文地球
  • 1个石油与天然气...
  • 1个冶金工程
  • 1个水利工程
  • 1个环境科学与工...

主题

  • 14个刻蚀
  • 13个退火
  • 13个半导体
  • 13个掺杂
  • 12个离子
  • 12个半导体器件
  • 11个离子注入
  • 10个导体
  • 10个堆叠
  • 9个电极
  • 9个电路
  • 9个浅结
  • 9个分子
  • 9个靶材
  • 8个电子设备
  • 7个单晶
  • 6个氮化硅
  • 6个电压
  • 5个氮化
  • 5个电荷

机构

  • 15个中国科学院微...
  • 3个清华大学
  • 2个中国科学院大...
  • 1个湖南大学
  • 1个华南理工大学
  • 1个中国科学院重...
  • 1个中国科学院微...

资助

  • 6个国家自然科学...
  • 4个国家科技重大...
  • 3个国家高技术研...
  • 2个国家重点基础...
  • 2个中国科学院科...
  • 1个北京市科技新...
  • 1个广东省自然科...
  • 1个国家社会科学...
  • 1个黑龙江省教育...
  • 1个国家电网公司...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个国家攀登计划
  • 1个湖南省普通高...
  • 1个中国科学院西...
  • 1个中国科学院战...
  • 1个中国石油科技...
  • 1个重庆市教育委...
  • 1个重庆市科技攻...
  • 1个重庆市自然科...

传媒

  • 6个微纳电子技术
  • 4个半导体技术
  • 4个光子学报
  • 4个微电子学
  • 3个Journa...
  • 3个传感技术学报
  • 3个中国科技成果
  • 3个真空科学与技...
  • 3个第十七届全国...
  • 2个微电子学与计...
  • 2个电子工业专用...
  • 2个电子器件
  • 2个功能材料与器...
  • 2个电子元件与材...
  • 2个科学技术与工...
  • 2个智能电网（汉...
  • 2个第十二届全国...
  • 1个现代化工
  • 1个红外与激光工...
  • 1个电讯技术

地区

  • 15个北京市
共 15 条 记 录，以下是 1-10
刘金彪
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 掺杂 衬底 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李俊峰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李琳
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：超浅结 靶材 暗电流 分子 修饰
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张浩
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：正交频分 正交频分复用 压缩采样 OFDM系统 柔性衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁明正
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：探测器 硅基 击穿电压 暗电流 晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋希明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：超浅结 靶材 分子 离子源 冷却装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：掺杂 衬底 热退火 刻蚀 半导体器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王垚
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：掺杂 热退火 沟道 衬底 半导体器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许高博
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：金属栅 半导体器件 沟道 介质层 堆叠
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
殷华湘
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0