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孙艳
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中国科学院微电子研究所
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合作作者
陈岚
中国科学院微电子研究所
曹鹤
中国科学院微电子研究所
张贺
中国科学院微电子研究所
马天宇
中国科学院微电子研究所
刘宏伟
中国科学院微电子研究所
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陈岚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:版图 电路 研磨 集成电路版图 CMP
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曹鹤
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:CMP 研磨 冗余 网格 研磨液
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张贺
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:CMP 版图 网格 冗余 仿真方法
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马天宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:互连线 冗余 版图 集成电路版图 化学机械抛光
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刘宏伟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:表面形貌 仿真方法 形貌 CMP工艺 CMP
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徐勤志
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:研磨 研磨液 CMP 化学机械研磨 表面形貌
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方晶晶
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:CMP 研磨 仿真方法 表面形貌 版图
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刘建云
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:研磨 研磨液 CMP 表面形貌 平坦性
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王海永
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:相位噪声 频率综合器 LC-VCO 噪声性能 压控振荡器
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朱义强
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅 集成电路设计 纳米芯片 嵌入式闪存 电路设计
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