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卢红亮

作品数:110 被引量:27H指数:3
供职机构:复旦大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金上海市科学技术委员会资助项目中国博士后科学基金更多>>
相关领域:电子电信一般工业技术理学自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 29个电子电信
  • 26个理学
  • 23个文化科学
  • 22个自动化与计算...
  • 19个一般工业技术
  • 18个经济管理
  • 17个电气工程
  • 17个医药卫生
  • 16个机械工程
  • 12个化学工程
  • 12个金属学及工艺
  • 12个政治法律
  • 8个环境科学与工...
  • 7个农业科学
  • 6个历史地理
  • 4个天文地球
  • 4个建筑科学
  • 4个轻工技术与工...
  • 4个交通运输工程
  • 4个自然科学总论

主题

  • 25个电路
  • 24个集成电路
  • 22个互连
  • 20个淀积
  • 20个半导体
  • 19个原子层淀积
  • 19个介电
  • 18个纳米
  • 17个介电常数
  • 17个金属
  • 15个介质
  • 14个导体
  • 14个薄膜生长
  • 13个等离子体
  • 13个电容
  • 13个电压
  • 13个阻挡层
  • 13个衬底
  • 12个电极
  • 12个电容器

机构

  • 42个复旦大学
  • 3个北京理工大学
  • 2个上海大学
  • 1个贵州大学
  • 1个北京大学
  • 1个华中农业大学
  • 1个西南财经大学
  • 1个山东大学
  • 1个武汉大学
  • 1个西安交通大学
  • 1个同济大学
  • 1个中国科学院
  • 1个华东冶金学院
  • 1个上海立信会计...
  • 1个首都师范大学
  • 1个中山大学
  • 1个河北科技大学
  • 1个泰州市疾病预...
  • 1个中国人民解放...
  • 1个中国科学院上...

资助

  • 27个国家自然科学...
  • 11个国家高技术研...
  • 11个国家科技重大...
  • 8个上海市科学技...
  • 7个国家教育部博...
  • 6个中国博士后科...
  • 6个教育部“新世...
  • 5个上海市浦江人...
  • 4个高等学校骨干...
  • 4个教育部留学回...
  • 4个上海市自然科...
  • 4个教育部高等学...
  • 3个国家社会科学...
  • 3个国家重点基础...
  • 3个教育部科学技...
  • 3个浙江省自然科...
  • 3个贵州省自然科...
  • 3个国家攀登计划
  • 3个上海-AM基...
  • 3个上海市科委光...

传媒

  • 11个物理学报
  • 11个功能材料
  • 9个Journa...
  • 9个复旦学报(自...
  • 8个半导体光电
  • 7个半导体技术
  • 7个红外与毫米波...
  • 7个微电子学
  • 6个无机化学学报
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  • 6个无机材料学报
  • 6个材料研究学报
  • 6个固体电子学研...
  • 5个高等学校化学...
  • 5个化学学报
  • 4个光电子.激光
  • 4个中国激光
  • 4个上海交通大学...
  • 4个光学学报
  • 4个光子学报

地区

  • 39个上海市
  • 1个湖北省
  • 1个北京市
  • 1个贵州省
42 条 记 录,以下是 1-10
张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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孙清清
供职机构:复旦大学
研究主题:电极 存储器 原子层淀积 底电极 晶体管
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丁士进
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄伟
供职机构:复旦大学
研究主题:射频 掩蔽层 高线性 细胞毒性 射频功率器件
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耿阳
供职机构:复旦大学
研究主题:扩散阻挡层 铜互连 铜 乙酰丙酮 测量过程
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王鹏飞
供职机构:复旦大学
研究主题:自对准 场效应晶体管 原子层淀积 存储器 漏电流
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周鹏
供职机构:贵州大学
研究主题:存储器 百香果 石墨烯 集成电路制造 胶囊
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐敏
供职机构:复旦大学
研究主题:偏折 电子设备 精密测量技术 增强型 沟道
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢立恒
供职机构:复旦大学
研究主题:电镀铜 原子层淀积 铜互连 半导体集成电路 磺酸钠
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任杰
供职机构:北京大学
研究主题:密度泛函理论 密度泛函理论研究 原子层淀积 反应机理 电子结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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