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刘显学
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中国工程物理研究院电子工程研究所
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唐彬
中国工程物理研究院电子工程研究...
张照云
中国工程物理研究院电子工程研究...
周浩
中国工程物理研究院电子工程研究...
杨杰
中国工程物理研究院电子工程研究...
熊壮
中国工程物理研究院电子工程研究...
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唐彬
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层
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张照云
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 极板 加速度计 刻蚀 结构层
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周浩
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微机械陀螺 加速度计 解耦 微机械 差分电容
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杨杰
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:极板 微加速度计 石英 微开关 加速度计
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熊壮
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 加速度计 极板 MEMS 惯性开关
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许蔚
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 加速度计 极板 易加工 微加速度计
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赵宝林
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:极板 加速度计 加速度传感器 悬臂梁 冲击传感器
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苏伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 石英 键合 刻蚀 结构层
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谢国芬
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:极板 微加速度计 加速度计 温度稳定性 闭环
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陶逢刚
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度传感器 冲击传感器 变形镜 压阻式加速度传感器 压电式
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